Flexible LCP-basierte Mehrlagenschaltungen in Dünnschichttechnik: Herstellungstechnologie und Charakteristika
Konferenz: MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
26.10.2015 - 28.10.2015 in Karlsruhe, Deutschland
Tagungsband: MikroSystemTechnik 2015
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Kaiser, Alexander; Bee, Carlos Maximilian; Matej, Paul; Herbort, Christian; Holl, Bruno; Rueß, Karin; Bauböck, Günther (Cicor Advanced Microelectronics and Substrates, Sedanstr. 14, 89077 Ulm, Deutschland)
Dupuis, Frédéric; Fritz, Karl-Heinz (Cicor Advanced Microelectronics and Substrates, Route de l’Europe 8, 2017 Boudry, Schweiz)
Metzen, Rene von (NMI Naturwissenschaftliches und Medizinisches Institut an der Universität Tübingen, Markwiesenstr. 55, 72770 Reutlingen, Deutschland)
Inhalt:
Dieser Beitrag beschäftigt sich mit LCP-basierenden flexiblen Mehrlagenschaltungen in Dünnschichttechnik und deren fundamentalen Eigenschaften. Im Gegensatz zu konventioneller Leiterplattentechnik ermöglicht diese Kombination die Vorteile der Leiterplattentechnik mit denen der Dünnfilmtechnologie zu kombinieren. Im speziellen sind das hierbei die Verwendung von Edelmetallen und biokompatiblen Metallsystemen und das kleberfreie Verpressen (Laminieren) von Flüssigkristallpolymer-Materialien zu Mehrlagenaufbauten. Diese Technologie erlaubt die Herstellung von flexiblen Mehrlagenschaltungen unter Verwendung einer sehr limitierten Anzahl von Materialien, und damit gleichzeitig vollkommen biokompatible Systeme die auch für die Verwendung im Körper konzipiert werden können. Dieser Artikel beschreibt die Herstellungsverfahren für die LCP-basierenden Mehrlagenschaltungen und Ergebnisse aus Stabilitätsuntersuchungen in gepufferter Kochsalzlösung.