Low-Cost Edelstahl-Mikropumpe zur Probenzufuhr eines miniaturisierten Gassensorsystems zur Brandfrüherkennung

Inhalt:
Vorgestellt wird eine Edelstahl-Mikropumpe für die Probenzufuhr einer elektronischen Nase in einem Mikrosystem zur Brandfrüherkennung. Sie erreicht bei einer Baugröße von nur Ø 20 mm x 1,5 mm Förderraten von Luft bis über 100 ml/min und Gegendrücke von bis zu über 40 kPa. Die Herstellung der Mikropumpe beruht ausschließlich auf konventionellen, massenproduktionstauglichen Prozessschritten wie Laserschweißen und Kleben, die auch in geringen Stückzahlen eine kostengünstige Fertigung ermöglichen. Allerdings zeigen die hergestellten Erstmuster eine sehr große Streuung der fluidischen Kennwerte von bis zu 40 %. Daher ist eine pumpenspezifische Arbeitspunktkalibration über die Anpassung der elektrischen Ansteuerung notwendig um eine Genauigkeit von ca. 2 % zu erreichen.