Röntgenoptische Messung des Seitenwandwinkels direktlithografischer refraktiver Röntgenlinsen

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Direkt röntgentiefenlithografisch gefertigte refraktive Röntgenlinsen (Englisch: Compound Refractive Lens, CRL) aus röntgenbeständigen Polymeren wie SU-8 sind für Photonenenergien über etwa 10 keV, wo die Absorption des Linsenmaterials deutlich abnimmt, gut einsetzbar zum Fokussieren von Röntgenstrahlen oder in der Röntgenvollfeldmikroskopie. CRLs bestehen aus einer Vielzahl von Einzellinsen, die in einer Reihe angeordnet sind. Am KIT/IMT werden solche Linsen entwickelt und mit Methoden wie dem Klingentest oder durch Messung der erzielbaren Auflösung in der Vollfeldmikroskopie charakterisiert. Die Eigenschaften der Linsen hängen sehr stark von der Ist-Geometrie der Linsen ab; kleinste Abweichungen im Krümmungsradius oder in der Geometrie über der Strukturhöhe können die Abbildungseigenschaften der Linsen negativ beeinflussen. Zur Bestimmung derartiger Abweichungen wurde eine neue röntgenoptische Messmethode entwickelt. Dabei werden variierende Vergrößerungsmaßstäbe bei einer Schattenprojektion mit einer von der zu bewertenden CRL erzeugten virtuellen Quelle ausgewertet.