Optoelektronischer Nivellierungssensor – Simulationen und Funktionsmuster
Konferenz: MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
26.10.2015 - 28.10.2015 in Karlsruhe, Deutschland
Tagungsband: MikroSystemTechnik 2015
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Müller, R.; Brodersen, O. (CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH, Konrad-Zuse-Str. 14, 99099 Erfurt, Deutschland)
Förster, E. (Ernst-Abbe-Hochschule Jena, Carl-Zeiss-Promenade 2, 07745 Jena, Deutschland)
Inhalt:
Auf Basis einer vorhandenen Strahler-Empfänger-Baugruppe wird der Aufbau eines optoelektronischen Nivellierungssensors vorgeschlagen. In einem weiteren Schritt wird auf Basis dieses Vorschlages der Aufbau eines Sensors mit nur einer mikrooptischen Komponente vorgestellt. Wesentliche Bestandteile des Sensors sind ein spezieller Silizium Chip mit integrierten Si-pin-Fotodioden, ein vertikal emittierender Laser (VCSEL) und ein Polymethylmethacrylat (PMMA)-Optiklayer. Die Messung basiert auf dem Einfluss der Schwerkraft auf eine Flüssigkeitsoberfläche, erfolgt über ein Differenzverfahren und ist für zwei Neigungsachsen simultan möglich. Der Messbereich des Sensors liegt im Bereich von ± 0,15Grad.