Technologieentwicklung einer post-process Elektrodenspaltverringerung zur Herstellung von hochauflösenden Sensorsystemen

Inhalt:
Ziel dieser Arbeit ist es, eine neue Sensorgeneration zur Messung von Neigung, Beschleunigung und Vibration an Maschinen und Anlagen zu entwickeln, die selbst kleinste Anregungen noch hochpräzise detektieren, da die nachzuweisenden Signalpegel im Geräte- und Anlagenbau oftmals so klein sind, dass die weltweit verfügbaren Systeme an ihre Grenzen stoßen. Um diese extrem kleinen nachzuweisenden Signalpegel mit Sensoren zu detektieren, wird die Sensitivität mittels Erzeugung kleinster Elektrodenabstände (kapazitives Wirkprinzip, vertikale Elektrodenkämme) erhöht. Für die hier entwickelten AIM-Sensoren mit Zustellstruktur wird gezeigt, dass der Spaltabstand zwischen den Elektroden auf ca. 1 µm nachträglich verringert werden kann.