Mikrofügen mit reaktiven Nanokompositen
Konferenz: MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
26.10.2015 - 28.10.2015 in Karlsruhe, Deutschland
Tagungsband: MikroSystemTechnik 2015
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Kremer, Matthias P.; Tortschanoff, Andreas (CTR Carinthian Tech Research AG, 9524 Villach, Österreich)
Kremer, Matthias P.; Guber, Andreas E. (Institut für Mikrostrukturtechnik, Karlsruher Institut für Technologie, 76443 Eggenstein-Leopoldshafen, Deutschland)
Inhalt:
Der aktuelle Forschungsstand in der Entwicklung von hoch reaktiven Nanokompositen auf Basis von metallischen Nanopartikeln für die Hetero-Integration von Micro-Electromechanical Systems (MEMS) wird präsentiert. Hoch reaktive integrierte Mehrlagensysteme haben in jüngerer Vergangenheit viel Aufmerksamkeit bekommen, da sie eine sehr nützliche Methode versprechen, um verschiedene Materialien zu fügen, ohne das gesamte System einem zu hohen thermischen Stress auszusetzen. Unser neuer Ansatz baut auf einer einzelnen Schicht von gemischten metallischen Nanopartikeln auf, anstelle von Mehrlagensystemen.