Zweiachsiger Mikroschrittaktor mit großem Stellweg für die Positionierung von Blenden-Arrays
Konferenz: MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
26.10.2015 - 28.10.2015 in Karlsruhe, Deutschland
Tagungsband: MikroSystemTechnik 2015
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Endrödy, C.; Mehner, H.; Sinzinger, S.; Hoffmann, M. (Technische Universität Ilmenau, IMN MacroNano®, Fachgebiet Mikromechanische Systeme, Ilmenau, Deutschland)
Inhalt:
Dieser Beitrag präsentiert den Entwurf, die Herstellung und Charakterisierung von einem kompakten zweiachsigen mikromechanischen Mikroschrittaktor für die Positionierung eines Blenden-Arrays. Diese Lösung ermöglicht ein hochintegriertes kompaktes hyperspektrales System. Basierend auf der Geometrie des Blenden-Arrays, ein elektrostatischer Schrittaktoren wurde entwickelt mit einer kompakten Größe (1 cm2) und Schrittweite um 15 µm und Bewegungsbereich von 200 µm. Die optische Öffnung (5×7 mm2) und die Traglast (20 mg) stellen vom Stand der Technik bisher nicht erreichte Spezifikationen für einen Silicium-basierten Mikroaktor dar.