On-Chip Impedanz Trimming von transparenten und flexiblen ITO-Elektroden durch Laser Induzierte Nanocuts
Konferenz: MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
26.10.2015 - 28.10.2015 in Karlsruhe, Deutschland
Tagungsband: MikroSystemTechnik 2015
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Afshar, M.; Leber, M.; Seidel, H.; Feili, D. (Universität des Saarlandes, Lehrstuhl für Mikromechanik, Mikrofluidik/Mikroaktorik, 66123 Saarbücken, Deutschland)
Poppendieck, W. (Fraunhofer-Institut für Biomedizinische Technik IBMT, 66386 St. Ingbert, Deutschland)
König, K. (Universität des Saarlandes, Lehrstuhl für Biophotonk und Lasertechnologie, 66123 Saarbücken, Deutschland)
Inhalt:
In dieser Arbeit wird die Wirkung der Laser-induzierten Nanostrukturierung in transparenten Indium-Zinn-Oxid (ITO) Elektroden auf flexiblem Glassubstrat untersucht. Multi-Elektroden-Arrays (MEA) für die elektrische und optische Charakterisierung von biologischen Zellen wurden unter Verwendung von Standard-MEMS-Technologien hergestellt. Optimale Sputterparameter für gute optische und elektrische Eigenschaften von ITO wurden bestimmt. Danach wurden mittels eines femtosekunden Lasers 20 nm breite und 150 mm tiefe Nanocuts mit mehreren Mikrometern Länge innerhalb der ITO-Schicht erzeugt. Die elektrochemische Impedanz der hergestellten Elektroden wurde vor und nach der Lasermodifikation spektroskopisch gemessen. Eine geringe Abnahme der Impedanz der Elektrode wurde beobachtet. Diese Nanostrukturen können auch als Polarisationsfilter für das sichtbare Spektrum verwendet werden.