Entwicklung eines miniaturisierten Flammenionisationsdetektors in der keramischen Mehrlagentechnologie für den Schutz vor explosionsfähigen Gasgemischen
Konferenz: MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
26.10.2015 - 28.10.2015 in Karlsruhe, Deutschland
Tagungsband: MikroSystemTechnik 2015
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Lenz, C.; Saha, A. Tagne; Ziesche, S. (Fraunhofer Institut für Keramische Technologien und Systeme IKTS, Winterbergstr. 28, 01277 Dresden, Deutschland)
Kuipers, W.; Koch, C.; Deilmann, M. (KROHNE, Ludwig-Krohne-Str. 5, 47058 Duisburg, Deutschland)
Inhalt:
Gassensorische Lösungen zur Vermeidung explosionsfähiger Atmosphären haben für die zivile Sicherheit eine erhebliche Bedeutung. Im Beitrag werden geeignete Messverfahren zur Luftüberwachung aufgeführt und hinsichtlich ihrer Vor- und Nachteile gegenübergestellt. Der Flammenionisationsdetektor (FID) weist dabei substanzielle Vorteile auf, macht jedoch den Einsatz neuer mikrosystemtechnischer Fertigungsverfahren notwendig. Aufgrund der hohen Anforderungen an das sensorische Element ist die keramische Mehrlagentechnologie das bestmögliche Fertigungsverfahren. Die keramische Mehrlagentechnologie wird vorgestellt und die sich ergebenden Vorteile für das FID-Messverfahren aufgeführt.