Chemisch beständige Sensormatrizen auf Polyimid-Basis

Inhalt:
In dieser Arbeit wird ein bestehendes Sensorkonzept auf Dickschichtbasis auf ein Dünnschichtkonzept mit flexiblem Trägersubstrat übertragen. Hierzu wird eine geeignete Technologie entwickelt, die Funktionsschichten des bestehenden Konzeptes auf einen flexiblen Dünnfilm überträgt sowie eine elektrische und mechanische Anbindung realisiert. Neben dem Anpassen von Struktur und Prozessen zur Herstellung der Sensoren steht vor allem die Realisierung von mechanisch, thermisch und chemisch stabilen Schnittstellen und die Erweiterung zu einer Sensormatrix zum Zwecke einer ortsaufgelösten Messwerterfassung im Mittelpunkt der technologischen Entwicklung. Um Aussagen über die Einsatzmöglichkeiten der entwickelten Sensoren treffen zu können, werden Ergebnisse über entsprechenden Untersuchungen an den Sensoren zur chemischen Beständigkeit vorgestellt.