In-situ plasma etch depth control with reflectance anisotropy spectroscopy (RAS)

Konferenz: Mikro-Nano-Integration - 6. GMM-Workshop
05.10.2016 - 06.10.2016 in Duisburg, Deutschland

Tagungsband: GMM-Fb. 86: Mikro-Nano-Integration

Seiten: 5Sprache: EnglischTyp: PDF

Persönliche VDE-Mitglieder erhalten auf diesen Artikel 10% Rabatt

Doering, Christoph; Kleinschmidt, Ann-Katrin; Barzen, Lars; Fouckhardt, Henning (AG Integrierte Optoelektronik, FB Physik, TU Kaiserslautern, Erwin-Schrödinger-Str. 46, 67663 Kaiserslautern)
Wahl, Michael; Kopnarski, Michael (IFOS – Institut für Oberflächen- und Schichtanalytik GmbH, Trippstadter Str. 120, 67663 Kaiserslautern)

Reflectance anisotropy spectroscopy (RAS) enables in-situ monitoring of reactive ion etching (RIE) of monocrystalline III-V semiconductor surfaces. This allows for an etch depth control better than 10 nm without any additional etch stop layer. Moreover, RAS permits the investigation of nanoscopic surface modifications during the etch process. Applicability is demonstrated in connection with a realistic semiconductor device fabrication example, i. e. the highly etch depth sensitive manufacturing of a film lens on the waveguide ridge of a broad area laser (BAL).