Modellbasierte Auswertung eines keramischen Feuchtesensors A model-based analysis of a ceramic humidity sensor

Konferenz: Sensoren und Messsysteme - 19. ITG/GMA-Fachtagung
26.06.2018 - 27.06.2018 in Nürnberg, Deutschland

Tagungsband: ITG-Fb. 281: Sensoren und Messsysteme

Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF

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Autoren:
Lensch, Henrik; Baur, Tobias; Schütze, Andreas; Sauerwald, Tilman (Lehrstuhl für Messtechnik, Universität des Saarlandes, Saarbrücken, Deutschland)

Inhalt:
Ein keramischer Feuchtesensor (UST, Geschwenda) wurde bei einer Sensortemperatur von 25 °C (Raumtemperatur) im Bereich von 0 mbar bis etwa 22,2 mbar Wasserdampf-Partialdruck und bei einer Sensortemperatur von 320 °C im Bereich von 0 mbar bis etwa 426 mbar Partialdruck mittels Impedanzspektroskopie untersucht. Die Spektren wurden anschließend mittels eines elektrischen Ersatzschaltbildes (EES) gefittet. Die extrahierten Bauelemente des Ersatzschaltbilds wurden als Merkmale für eine Partial Least Squares Regression (PLSR) verwendet, um ein lineares Modell zur Quantifizierung des Feuchtegehalts in Luft zu erhalten.