Resistiver Sauerstoffsensor mit temperaturunabhängiger Kennlinie

Konferenz: Sensoren und Messsysteme - 19. ITG/GMA-Fachtagung
26.06.2018 - 27.06.2018 in Nürnberg, Deutschland

Tagungsband: ITG-Fb. 281: Sensoren und Messsysteme

Seiten: 3Sprache: DeutschTyp: PDF

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Autoren:
Bektas, Murat; Püls, Simon; Hagen, Gunter; Moos, Ralf (Lehrstuhl für Funktionsmaterialien, Universität Bayreuth, Bayreuth, Deutschland)

Inhalt:
Das Materialsystem BFT (Barium-Eisen-Tantalat) weist einen temperaturunabhängigen, aber sauerstoffabhängigen Widerstand auf. Sensoren wurden in Dickschicht-Technik auf Al2O3-Substraten mit integrierter Beheizung hergestellt. Die Funktionsschicht aus BaFe(1-x)-0.01Al0.01TaxO3-δ (BFATx, x = 0.1 – 0.3) wurde mittels der neuartigen Aerosol-Depositions- Methode (ADM, auch als aerosolbasierte Kaltabscheidung bezeichnet) aufgebracht. Im Temperaturbereich von 600 bis 800 °C und unter Variation des Sauerstoffpartialdrucks im Bereich von 10-2 bis 1 bar zeigen Sensoren mit BFAT25 eine schnelle und reproduzierbare Reaktion auf die Änderung des Sauerstoffpartialdrucks mit einer Sauerstoffempfindlichkeit von 0,25. Temperaturunabhängiges Verhalten des Sauerstoffsensors tritt 700 – 800 °C auf.