Untersuchung der Langzeitstabilität von NTCR-Dickschicht-Sensoren hergestellt mittels aerosolbasierter Kaltabscheidung

Inhalt:
In der vorliegenden Arbeit wurden erfolgreich NTC-Thermistorbauteile der Größe 1206 (3,2 mm x 1,6 mm) mittels der aerosolbasierten Kaltabscheidung hergestellt. Hierzu erfolgte eine Kaltabscheidung einer NiMn2O4-Dickschicht auf ein, mit gelaserten Soll-Bruchkanten und siebgedruckten AgPd-Interdigitalelektrodenstrukturen versehenes, Aluminiumoxidsubstrat. Die abgeschiedene NiMn2O4-Dickschicht ist dicht, homogen sowie kratzfest und weist eine gute Anbindung an das Substrat und die Siebdruckelektrode auf. Die elektrischen Eigenschaften (rho25, B-Wert) sind reproduzierbar und entsprechen denen traditionell in Keramiktechnologie hergestellter Bulk-NTCR-Bauteile. Durch moderates Tempern bis 400 °C kann die Langzeitstabilität des R25- und des B-Wertes noch weiter verbessert werden.