Untersuchung der Langzeitstabilität von NTCR-Dickschicht-Sensoren hergestellt mittels aerosolbasierter Kaltabscheidung

Konferenz: Sensoren und Messsysteme - 19. ITG/GMA-Fachtagung
26.06.2018 - 27.06.2018 in Nürnberg, Deutschland

Tagungsband: ITG-Fb. 281: Sensoren und Messsysteme

Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF

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Autoren:
Schubert, Michaela; Kita, Jaroslaw; Moos, Ralf (Lehrstuhl für Funktionsmaterialien, Universität Bayreuth, 95440 Bayreuth, Deutschland)
Münch, Christian (Vishay Electronic GmbH, Dr.-Felix-Zandman-Platz 1, 95100 Selb, Deutschland)

Inhalt:
In der vorliegenden Arbeit wurden erfolgreich NTC-Thermistorbauteile der Größe 1206 (3,2 mm x 1,6 mm) mittels der aerosolbasierten Kaltabscheidung hergestellt. Hierzu erfolgte eine Kaltabscheidung einer NiMn2O4-Dickschicht auf ein, mit gelaserten Soll-Bruchkanten und siebgedruckten AgPd-Interdigitalelektrodenstrukturen versehenes, Aluminiumoxidsubstrat. Die abgeschiedene NiMn2O4-Dickschicht ist dicht, homogen sowie kratzfest und weist eine gute Anbindung an das Substrat und die Siebdruckelektrode auf. Die elektrischen Eigenschaften (rho25, B-Wert) sind reproduzierbar und entsprechen denen traditionell in Keramiktechnologie hergestellter Bulk-NTCR-Bauteile. Durch moderates Tempern bis 400 °C kann die Langzeitstabilität des R25- und des B-Wertes noch weiter verbessert werden.