Piezoelektrischer Mikrospiegel mit großem Scanwinkel, basierend auf Dünnschicht-Aluminiumnitrid

Konferenz: MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
28.10.2019 - 30.10.2019 in Berlin, Deutschland

Tagungsband: MikroSystemTechnik Kongress 2019

Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF

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Autoren:
Meinel, Katja; Melzer, Marcel (Technische Universität Chemnitz, Reichenhainer Straße 70, 09126 Chemnitz, Deutschland)
Stoeckel, Chris; Zimmermann, Sven; Hiller, Karla; Otto, Thomas (Technische Universität Chemnitz, Reichenhainer Straße 70, 09126 Chemnitz, Deutschland & Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS, Technologie-Campus 3, 09126 Chemnitz, Deutschland)
Forke, Roman (Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS, Technologie-Campus 3, 09126 Chemnitz, Deutschland)

Inhalt:
Im Rahmen dieser Veröffentlichung werden mittels piezoelektrischem Dünnschicht-Aluminiumnitrids (AlN) aktuierte Mikrospiegel vorgestellt. Die Mikrosysteme mit 6 mm2 Footprint werden monolithisch in einer 150 mm SOI-Technologie hergestellt. Mithilfe von finiter Element-Modellierung wird eine Optimierung der Hebelarmparameter zur Maximierung des Auslenkwinkels durchgeführt. Ein maximaler Scanwinkel von 104,9 Grad wird bei 20 V und 1,9 kHz erreicht.