Experimentelle Untersuchung der effektiven Sensorparameter für neuartige ko-resonante Cantilever-Sensoren

Konferenz: MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
28.10.2019 - 30.10.2019 in Berlin, Deutschland

Tagungsband: MikroSystemTechnik Kongress 2019

Seiten: 3Sprache: DeutschTyp: PDF

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Autoren:
Körner, Julia (TU Dresden, Institut für Festkörperelektronik, 01069 Dresden, Deutschland)

Inhalt:
Das Konzept der ko-resonanten Kopplung eines mikro- und eines nanoskaligen Balkens stellt eine vielversprechende Möglichkeit dar, die Empfindlichkeit von dynamischen Cantilever-Sensoren um mehrere Größenordnungen zu steigern, während gleichzeitig die präzise Detektion des Schwingungszustandes mit laseroptischen Methoden beibehalten wird. Für eine Weiterentwicklung des Konzeptes hin zu konkreten Anwendungen ist es unerlässlich, das Systemverhalten basierend auf den Parametern und Randbedingungen (z.B. Geometrie der Cantilever, Anpassungsgrad der Eigenfrequenzen) zuverlässig beschreiben und vorhersagen zu können. Kürzlich wurde theoretisch gezeigt, dass dies durch die Verwendung von effektiven Sensorparametern erreicht werden kann. Im hier vorliegenden Beitrag wurden diese effektiven Sensorparameter erstmals im Experiment untersucht und mit den theoretischen Vorhersagen verglichen.