AMR Sensoren auf flexiblem Substrat zur Messung von Verformungen eines hartmagnetischen Partikel-Elastomerverbunds

Konferenz: MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
28.10.2019 - 30.10.2019 in Berlin, Deutschland

Tagungsband: MikroSystemTechnik Kongress 2019

Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF

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Autoren:
Prediger, Maren S.; Wittek, Christian-Gabriel R.; Owiss, Ghadeer; Wurz, Marc Christoper (Institut für Mikroproduktionstechnik, Garbsen, Deutschland)

Inhalt:
Die Messtechnik zur Erfassung von Drücken bedient sich einiger Messprinzipien, darunter kapazitive, piezoelektrische, und optische, jedoch noch nicht des magnetoresistiven. Als Weiterentwicklung eines bereits untersuchten Demonstratorsystems wurden magnetoresistive Sensoren auf flexiblen Substraten als Array hergestellt, charakterisiert und Optimierungsparameter festgelegt. Das Sensorkonzept beinhaltet einen Verbund aus hartmagnetischen Partikeln und Elastomer, dessen magnetisches Verhalten in Abhängigkeit von dem Partikelfüllgrad und dem Verhältnis aus Basiskomponente zu Vernetzungskomponente untersucht wurde. Mit den Erkenntnissen lässt sich das Konzept auf anwendungsbasierte Eigenschaften auslegen und weiterentwickeln.