Beschleunigungssensoren mit großer Bandbreite und geringer Leistungsaufnahme für industrielle Anwendungen
Konferenz: MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
28.10.2019 - 30.10.2019 in Berlin, Deutschland
Tagungsband: MikroSystemTechnik Kongress 2019
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Forke, Roman; Küchler, Matthias (Fraunhofer ENAS, Technologie-Campus 3, 09126 Chemnitz, Deutschland)
Hiller, Karla; Otto, Thomas (Fraunhofer ENAS, Technologie-Campus 3, 09126 Chemnitz & Technische Universität Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologien, 09126 Chemnitz, Deutschland)
Hahn, Susann; Weidlich, Sebastian (Technische Universität Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologien, 09126 Chemnitz, Deutschland)
Konietzka, Stefan; Motl, Tim; Praedicow, Alexander (Electronic Design Chemnitz GmbH, 09126 Chemnitz, Deutschland)
Inhalt:
Dieser Artikel berichtet über optimierte mikromechanische Sensoren und eine speziell entwickelte integrierte Elektronik, um Beschleunigungssensoren mit hoher Bandbreite mit einem hohen Signal-Rausch-Verhältnis und sehr niedriger Stromaufnahme zu erzeugen. Dieses ehrgeizige Ziel kann durch ein sehr enges Co-Design von MEMS und ASIC erreicht werden. Das zweiachsige mikromechanische Element ist hinsichtlich seiner seismischen Masse optimiert, die für einen ultrarauscharmen Sensor notwendig ist. Daher ist eine große Höhe der mikromechanischen Struktur erforderlich. Ein weiteres Ziel ist eine sehr hohe kapazitive Empfindlichkeit, während die Grundkapazität so klein wie möglich gehalten wird, um einen geringen Stromverbrauch anzustreben. Dafür ist eine Technologie mit hohem Aspektverhältnis unabdingbar.