Entwurf, Fabrikation und Test einer 3-DOF-Positionierplattform mit thermischen Aktoren

Konferenz: MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
28.10.2019 - 30.10.2019 in Berlin, Deutschland

Tagungsband: MikroSystemTechnik Kongress 2019

Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF

Persönliche VDE-Mitglieder erhalten auf diesen Artikel 10% Rabatt

Autoren:
Voigt, Sebastian; Freitag, Markus; Krishna, Varsha; Hahn, Susann; Hiller, Karla; Mehner, Jan (Technische Universität Chemnitz, Deutschland)

Inhalt:
Dieser Beitrag präsentiert die erste 3-DOF-Positionierplattform mit thermischen Aktoren hergestellt in MEMS-Technologie. Diese Positionierplattform ist mit einer Resonanzfrequenz von >50 kHz sehr steif und bietet sehr große Kräfte und Stabilität. Diese Eigenschaften machen diese Art von Positionierplattform interessant für Anwendung bei der Positionierung von Manipulatoren mit hohen Kräften oder mit großen bewegten Massen. Der Bewegungsumfang der Muster beträgt 3 µm x 3 µm und 0,3 Grad Rotationswinkel