MEMS Aktuator-Array mit Kammantrieb und verbesserter Linearität
Konferenz: MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
28.10.2019 - 30.10.2019 in Berlin, Deutschland
Tagungsband: MikroSystemTechnik Kongress 2019
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Neudert, Andreas; Felsberg, Linda; Dürr, Peter (Fraunhofer Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS, Dresden, Deutschland)
Inhalt:
In dieser Arbeit wurden MEMS-Aktuatoren zur präzisen Positionierung von Mikro-Senkspiegeln in einem eng gepackten Array untersucht. Mittels FEM Simulationen und nachfolgender Auswertung wurde die Geometrie dahin optimiert, eine möglichst lineare Auslenkkurve zu erhalten bei gleichzeitig maximierter Federkonstante und Einhaltung von Fertigungs- und Ansteuergrenzen verschiedener Parameter.