Robustheitsoptimierung von MEMS-basierten Sensorschaltungen

Inhalt:
Diese Arbeit präsentiert einen neuen Ansatz zur kombinierten MEMS-IC Robustheitsoptimierung. Fortschrittlichere Methoden zur Robustheitsanalyse und -optimierung unter Berücksichtigung von Entwurfs-, Prozess- und Betriebsparametern, die für integrierte Schaltungen entwickelt wurden, werden auf MEMS-IC-Systeme übertragen. Eine erfolgreiche Optimierung erfordert die gleichzeitige Einbeziehung von Entwurfsparametern und Prozesstoleranzen aus beiden Energiedomänen. Um Rechenzeit zu sparen, wird für den MEMS-Teil ein Schaltungsebenenmodell mit reduzierter Ordnung verwendet, und dieses Modell wird nur bei Bedarf erstellt. Um die Erzeugung des reduzierten Modells in den Optimierungsablauf zu integrieren, wird ein Simulationsablauf in einer Schleife implementiert, der auf kommerziellen Werkzeugen aus den IC- und MEMS-Domänen basiert.