Modellierung der Oberflächenvergrößerung eindimensionaler Nanostrukturen
Konferenz: MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
28.10.2019 - 30.10.2019 in Berlin, Deutschland
Tagungsband: MikroSystemTechnik Kongress 2019
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Wick, Konja; Schlaak, Helmut F. (Fachgebiet Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme, Technische Universität Darmstadt, Merckstraße 25, 64283 Darmstadt, Deutschland)
Inhalt:
In dieser Arbeit wird die Modellierung der Oberflächenvergrößerung eindimensionaler Nanostrukturen vorgestellt. Dazu wird zunächst die Oberflächenvergrößerung zylindrischer Nanostrukturen für eine regelmäßige hexagonale Anordnung berechnet. Anschließend wird die Oberflächenvergrößerung identischer, stochastisch verteilter Nanostrukturen anhand von Monte-Carlo-Simulationen untersucht. Beide Ergebnisse werden hinsichtlich ihrer erzielbaren Oberflächenvergrößerung miteinander verglichen. So ergibt sich für Drähte mit 200 nm Durchmesser und einer Dichte von 7,2 ⋅ 108 cm(exp −2) eine Oberflächenvergrößerung von 109,8. Bei zufälliger Verteilung der Drähte reduziert sich die Vergrößerung auf 87,6 und somit auf knapp 80 % der idealen hexagonalen Anordnung.