Ein 240 GHz FMCW Radarsensor für hochauflösende Messungen in SiGe mit integrierten Antennen

Konferenz: MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
28.10.2019 - 30.10.2019 in Berlin, Deutschland

Tagungsband: MikroSystemTechnik Kongress 2019

Seiten: 3Sprache: DeutschTyp: PDF

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Autoren:
Thomas, Sven; Bredendiek, Christian (Fraunhofer FHR, Fraunhoferstraße 20, Wachtberg, Deutschland)
Pohl, Nils (Fraunhofer FHR, Fraunhoferstraße 20, Wachtberg, Deutschland & Ruhr-Universität Bochum, Universitätsstraße 150, Bochum, Deutschland)

Inhalt:
Für diverse Messaufgaben, insbesondere im industriellen Umfeld, bei denen eine hohe Messauflösung und -genauigkeit gefordert wird, ist die Verwendung hoher Frequenzen oberhalb von 100 GHz vorteilhaft. Da bei diesen Frequenzen klassische Bondverbindungen auf Grund zu hoher Verluste Probleme bereiten, wird in diesem Beitrag die Verwendung von integrierten Antennen und dielektrischen Linsen behandelt, welche klassische Bondverbindungen für hohe Frequenzen vermeiden.