Kapazitive Ausleseschaltung für einen Einweg-Druck und Flusssensor für medizinische Anwendungen
Konferenz: MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
28.10.2019 - 30.10.2019 in Berlin, Deutschland
Tagungsband: MikroSystemTechnik Kongress 2019
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Nessler, Sebastian; Mutter, Lena; Grandauer, Christoph; Marx, Maximilian (Fritz-Hüttinger-Professur für Mikroelektronik, Institut für Mikrosystemtechnik - IMTEK, Universität Freiburg, Deutschland)
Kartmann, Sabrina (Schickard, Freiburg, Deutschland)
Zengerle, Roland (Hahn-Schickard, Freiburg & Professur für Anwendungsentwicklung, Institut für Mikrosystemtechnik - IMTEK, Universität Freiburg, Deutschland)
Manoli, Yiannos (Fritz-Hüttinger-Professur für Mikroelektronik, Institut für Mikrosystemtechnik - IMTEK, Universität Freiburg, Deutschland & Hahn-Schickard, Villingen-Schwenningen, Deutschland)
Inhalt:
In dieser Arbeit wird das Auslesekonzept für einen kostengünstigen, kapazitiven Druck- und Flusssensor für medizinische Anwendungen präsentiert. Im Vergleich zu [1] wird die Ladungsverschiebung des Sensors direkt gemessen. Hierdurch wird ein robusteres Auslesekonzept mit geringem Drift erzielt, welches sich auch als anwendungsspezifische integrierte Schaltung (ASIC) implementieren lässt. Die Messungen mit einem Funktionsmuster zeigen einen Messbereich von mehr als 100 kPa beziehungsweise 75 myl/s und ein RMS-Rauschen niedriger als 320 myV. Dies entspricht einer Auflösung von mehr als 200 Pa oder 150 nl/s über eine Bandbreite von 500 Hz.