Simulationsgestützte Auslegung und Fertigung von werkzeuginte-grierten induktiven Sensoren

Inhalt:
Am Institut für Mikroproduktionstechnik wird ein neuartiger induktiver Sensor zur Messung des Flanscheinzugs während des Tiefziehprozesses entwickelt. Dieser zeichnet sich vor allem durch die Verwendung eines Stahlsubstrates als Sensorschutz aus, wodurch einerseits eine hervorragende Beständigkeit gegenüber Verschleiß und Druck gewährleistet werden kann, andererseits allerdings die Sensorempfindlichkeit deutlich minimiert wird. Zur Sicherstellung eines ausreichenden Messsignals wird die Optimierung des Sensorlayouts anhand einer Finite-Elemente-Analyse (FEA) vorgenommen. Im Rahmen dieser Arbeit werden der Auslegungsprozess des Sensors sowie die Prozesskette zur Sensorfertigung vorgestellt. Vorgenommene Messungen mit den hergestellten Sensoren belegen die Tauglichkeit des vorgestellten Systems.