Mikrostrukturierung für super-hydrophobe Oberflächen in Electrowetting

Inhalt:
In dieser Arbeit wird der Einfluss von freistehenden mikrostrukturierten ALD-Schichten auf die hydrophobe Oberflächeneigenschaft untersucht. Hierzu werden mit einer Opferschichttechnik freitragende Strukturen erzeugt. Zur Beeinflussung der Benetzung wird die Dichte der Mikrostrukturen variiert. Die experimentell gemessenen Werte für den Kontaktwinkel sind in guter Übereinstimmung mit den analytisch berechneten Werten. Für einen Abstand von b = 2 µm, 5 µm und 10 µm beträgt der Kontaktwinkel Өexp = 139,9 Grad, 147;3Grad und 151;8 Grad.