Hochdynamische Druckpulsanalyse einer Mikromembranpumpe mittels in-line MEMS-Sensor

Konferenz: MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
28.10.2019 - 30.10.2019 in Berlin, Deutschland

Tagungsband: MikroSystemTechnik Kongress 2019

Seiten: 3Sprache: DeutschTyp: PDF

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Autoren:
Durasiewicz, Claudia Patricia; Thalhofer, Thomas (Fraunhofer EMFT, Fraunhofer-Einrichtung für Mikrosysteme und Festkörper-Technologien, Hansastraße 27d, 80686 München, Deutschland)

Inhalt:
Vorgestellt wird die hochdynamische Analyse des pulsatilen Flusses von Mikromembranpumpen mithilfe eines in-line MEMS-Sensors. Die Druckpulscharakteristik der Mikromembranpumpe wird phänomenologisch beschrieben und die Abhängigkeit des Sensorsignals von der Aktuierungs-Signalform wird dargelegt. Des Weiteren wird auf die Einflüsse der fluidischen Peripherie auf das Sensorsignal und die sich somit ergebende Rückverfolgbarkeit auf Fluidsystemgrößen eingegangen.