Transparente Fotodiode für ein Stehende-Wellen-Interferometer
Konferenz: MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
08.11.2021 - 10.11.2021 in Stuttgart-Ludwigsburg, Deutschland
Tagungsband: MikroSystemTechnik Kongress 2021
Seiten: 3Sprache: DeutschTyp: PDF
Autoren:
Moeller, Christian; Klein, Thomas; Brandel, Julia; Winzer, Andreas T.; Ortlepp, Thomas (CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH, Erfurt, Deutschland)
Inhalt:
Zwei verschiedene Konzepte für eine transparente Fotodiode zum Einsatz in einem Stehende-Wellen-Interferometer werden vorgestellt: Ein Detektor auf SOI-Material und ein Doppeldetektor auf Glassubstrat. Die Querschnitte der beiden Detektortypen werden erläutert und diskutiert. Erste Messergebnisse des SOI-Detektors werden vorgestellt.