Energieautarker Beschleunigungssensor mit Maximalwertspeicher

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Dieser Beitrag zeigt den Entwurf, die Fertigung und Charakterisierung eines mikromechanischen passiven Beschleunigungssensors, der ohne elektrische Hilfsenergie zur Zustandsüberwachung sensibler Güter eingesetzt werden soll. Der passive Sensor ist in der Lage eine Beschleunigungsamplitude von 1,9 g bis 9,7 g zu erfassen, den Maximalwert der Amplitude mit 6 Bit aufgelöst mechanisch zu speichern und bei aktiver Abfrage als digitalen elektrischen Code z.B. mittels RFID auszugeben. Jede neue, höhere Beschleunigung wird als neuer Maximalwert dauerhaft gespeichert.