Simulationsgestützte Auslegung und Fertigung von piezoelektrischen Kraftsensor-Arrays zur Untersuchung des Ultraschall-Drahtbondprozesses
Konferenz: MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
08.11.2021 - 10.11.2021 in Stuttgart-Ludwigsburg, Deutschland
Tagungsband: MikroSystemTechnik Kongress 2021
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
Autoren:
Arndt, Matthias; Wurz, Marc Christopher; Dencker, Folke (Institut für Mikroproduktionstechnik (IMPT), Leibniz Universität Hannover (LUH), Garbsen, Deutschland)
Long, Yangyang; Twiefel, Jens (Institut für Dynamik und Schwingunge (IDS), Leibniz Universität Hannover (LUH), Garbsen, Deutschland)
Inhalt:
Am Institut für Mikroproduktionstechnik (IMPT) wird ein neuartiges 4x3 Kraftsensorarray für die In-situ-Untersuchungen des Ultraschall(US)-Drahtbondprozesses entwickelt. Das Array basiert auf der piezoelektrischen Keramik Bleizirkonat-Titanat (PZT), die zunächst mittels Trennschleifen in einzelne Sensorsäulen unterteilt und anschließend mit einem Polymer verfüllt wird. Mit Hilfe des so entstehenden Sensorsystems sollen zukünftig die lokalen Tangentialkräfte, die sich während des Bondprozesses an der Kontaktstelle zwischen Draht und Substrat einstellen, gemessen werden.