Membranbasierte Drucksensoren basierend auf Nanogranularen Tunnelwiderständen für medizinische Anwendungen

Konferenz: Mikro-Nano-Integration - 9. GMM-Workshop
21.11.2022 - 22.11.2022 in Aachen, Germany

Tagungsband: GMM-Fb. 105: Mikro-Nano-Integration

Seiten: 3Sprache: DeutschTyp: PDF

Autoren:
Klein, Ann-Kathrin; Goschurny, Thomas; Bieschke, Pascal; Kaya, Alexander (NanoScale Systems, Nanoss GmbH, Darmstadt, Deutschland)

Inhalt:
Diese Arbeit berichtet über die Funktionalisierung von biokompatiblen Materialien mit Nanogranularen Tunnelwiderständen (engl. Nanogranular Tunneling Resistors), die wir als Dehnungssensoren verwenden. Im Gegensatz zu piezoresistiven oder kapazitiven Sensoren in herkömmlichen Drucksensoren sind nanogedruckte NTR-Sensoren extrem klein und können ohne Einschränkungen in Bezug auf die Größe, die Geometrie und die Biokompatibilität einer Druckmembran verwendet werden. Somit bietet dieser Ansatz neue Möglichkeiten für die Entwicklung medizinischer Anwendungen.