Herstellung hauchdünner, bleifreier Bariumtitanat-Piezokeramik mittels Inkjet Printing

Konferenz: MikroSystemTechnik Kongress 2023 - Kongress
23.10.2023-25.10.2023 in Dresden, Deutschland

Tagungsband: MikroSystemTechnik Kongress 2023

Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF

Autoren:
Ketterer, Ines; Yang, Cheng-Kang; Cimen, Emine (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Institut für Mikrosystemtechnik, Freiburg, Deutschland)
Wapler, Matthias (Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg, Institut für Medizintechnik, Magdeburg, Deutschland)
Hanemann, Thomas (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Institut für Mikrosystemtechnik, Freiburg, Deutschland & Karlsruher Institut für Technologie, Institut für Angewandte Materialien, Eggenstein-Leopoldshafen, Deutschland)

Inhalt:
Die Suche nach bleifreien Alternativen zu PZT ist weiterhin ein aktuelles Forschungsthema. Diese Arbeit beschäftigt sich mit der Herstellung dünner, bleifreier Bariumtitanat-Keramiken mit einer Schichtdicke im Bereich von 100 - 120 µm ohne ein darunterliegendes Trägermaterial zur Anwendung in Aktoren. Die Bariumtitanat-Grünkörper werden via Inkjet Printing hergestellt. Die hierfür entwickelte Tinte enthält ca. 25 Vol.-Prozent Bariumtitanat dispergiert in einem organischen Lösungsmittel. Durch die Verwendung von Graphitsubstraten, die nach dem Druckprozess bei 700 °Celsius verascht werden, können freistehende Bariumtitanat-Keramiken hergestellt werden. Diese werden anschließend bei 1100 °Celsius gesintert. Zur Analytik werden Lichtstreuung, Thermogravimetrie sowie Weißlichtinterferometrie und Lichtmikroskopie angewandt.