Replikative Herstellung von Metallformen für die Polymerreplikation mit geringer Oberflächenrauhigkeit

Konferenz: MikroSystemTechnik Kongress 2023 - Kongress
23.10.2023-25.10.2023 in Dresden, Deutschland

Tagungsband: MikroSystemTechnik Kongress 2023

Seiten: 5Sprache: DeutschTyp: PDF

Autoren:
Kluck, Sebastian; Hambitzer, Leonhard; Luitz, Manuel; Mader, Markus (Laboratory of Process Technology, NeptunLab, Department of Microsystems Engineering (IMTEK), University of Freiburg, Germany)
Sanjaya, Mario; Kotz-Helmer, Frederik (Laboratory of Process Technology, NeptunLab, Department of Microsystems Engineering (IMTEK), University of Freiburg, Germany & Glassomer GmbH, Freiburg im Breisgau, Germany)
Balster, Andreas (Gemeinnützige KIMW Forschungs-GmbH, Lüdenscheid, Germany)
Rapp, Bastian E. (Laboratory of Process Technology, NeptunLab, Department of Microsystems Engineering (IMTEK), University of Freiburg, Germany & Freiburg Materials Research Center (FMF), Albert Ludwig University of Freiburg, Germany & FIT Freiburg Center of Interactive Materials and Bioinspired Technologies, Albert Ludwig University of Freiburg, Germany)

Inhalt:
Polymere in den Bereichen Optik und Sensorik werden immer wichtiger, ermöglicht wird dies durch Herstellungsverfahren wie Spritzguss, welcher traditionell für optische Komponenten aufgrund der hohen Qualität der Formgebung und des hohen Automatisierungsgrades verwendet wird. Die Herstellung von Werkzeugen für diese Verfahren ist allerdings teuer und unflexibel, was die Designflexibilität stark einschränkt. Wir haben einen neuen Prozess entwickelt, welcher die Herstellung von metallischen Einsätzen mit optischen Oberflächen und Strukturen im Bereich weniger µm erlaubt. Dabei werden hochtemperaturstabile Quarzglaskörper als Formen für den Metallguss verwendet. Das Verfahren erlaubt die Verarbeitung von Metalllegierungen wie Bronze, Mes-sing und Kobalt-Chrom bei Temperaturen von bis zu 1400 °C. Die Metallreplikationen erreichen Auflösungen im einstelligen Mikrometerbereich und eine Oberflächenrauheit von wenigen Nanometern. Die hergestellten Formwerkzeuge wurden erfolgreich im Polymerspritzguss zur Herstellung von Lichtleitern mit Auskopplungsstruktur aus Polymethylmethacrylat getestet.