Präzisions Mikropositioniersysteme basierende auf dem Micro Harmonic Drive(R)-Getriebe

Konferenz: Innovative Klein- und Mikroantriebstechnik - 7. GMM/ETG-Fachtagung
12.06.2007 - 13.06.2007 in Augsburg, Deutschland

Tagungsband: Innovative Klein- und Mikroantriebstechnik

Seiten: 6Sprache: DeutschTyp: PDF

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Autoren:
Degen, Reinhard (Micromotion GmbH, Mainz, Deutschland)

Inhalt:
Die Vorteile der Miniaturisierung eröffnen neue Anwendungsgebiete für leistungsstarke Mikroaktuatoren in dynamisch wachsenden Märkten. Diese müssen jedoch zusätzlich zu miniaturisierten Außenabmessungen und geringem Eigengewicht ebenfalls ein spielfreies und präzises Positionierverhalten bereitstellen. Das Micro Harmonic Drive(R) stellt derzeit das weltweit kleinste spielfreie Mikrogetriebe dar. Durch die Kombination aus hoher Übersetzung, ausgezeichneter Wiederholgenauigkeit, gutem Wirkungsgrad und hoher Drehmomentkapazität eignet sich dieses Getriebe hervorragend für präzise Positionieranwendungen in der Halbleiterfertigung, in der Medizintechnik, in Messmaschinen, in optischen Systemen sowie in der Raumfahrt. Bisher benötigen Maschinen aufgrund des Einsatzes von konventioneller Antriebstechnik für die präzise Handhabung von Mikrobauteilen ein Vielfaches an Baugröße gegenüber den eigentlichen Bauteilen. Die Herausforderung für zukünftige Maschinenentwicklungen zur Herstellung und Handhabung von Mikrobauteilen besteht darin, die Abmessungen derartiger Präzisionsmaschinen an die Größe der Bauteile anzupassen und damit Vorteile durch zunehmende Genauigkeit und Dynamik ausnützen zu können. Hierzu werden schnelle, präzise und zuverlässige Antriebe für rotatorische und lineare Bewegungen benötigt, wobei zusätzliche Funktionalitäten, wie zum Beispiel eine Vakuumversorgung oder optische Elemente, in dem Mikropositioniersystem integriert sein müssen.