Mikrostrukturierung von Glas am Beispiel mikrofluidischer Produkte
Konferenz: Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
07.05.2007 - 08.05.2007 in Karlsruhe
Tagungsband: Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik
Seiten: 6Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Dietrich, Thomas R. (mikroglas chemtech GmbH, 55129 Mainz, Deutschland)
Inhalt:
Im folgenden Artikel soll die Mikrostrukturierung von Glas über nasschemische Ätzprozesse erläutert werden. Hierbei wird gezeigt, dass besonders die photostrukturierbaren Gläser geeignet sind, die benötigten dreidimensionalen Kanalstrukturen für mikrofluidischen Anwendungen in hoher Genauigkeit herzustellen. Als Beispiele werden Produkte aus dem Bereich Chemie und Biotechnologie sowie Tintenstrahldruckköpfe vorgestellt.