ESPI für MST und Life Sciences

Konferenz: Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
07.05.2007 - 08.05.2007 in Karlsruhe

Tagungsband: Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik

Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF

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Autoren:
Foitzik, Andreas H.; Uhlig, Katja; Chrzumnicka, Ewa; Inwersen, Jan (TFH Technische Fachhochschule Wildau, Biosystemtechnik/Bioinformatik, Bahnhofstraße, 15745 Wildau)
Göpfrich, Armin; Pfüger, Markus; Vogt, Thomas (HSE Hochschule Esslingen, FB Fahrzeugtechnik, Flandernstraße 101, 73728 Esslingen)

Inhalt:
In dieser Arbeit stellen wir eine Messmethode vor, mit der man statische und dynamische Deformationen an i.) Mikrosystemen und ii.) biologischen Zellen im Bereich von lateral unter 1 µm und axial von ca. 3 nm quantitativ bestimmen kann.