Maßgeschneiderte Oberflächen für die Mikrosystemtechnik
Konferenz: Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005
10.10.2005 - 12.10.2005 in Munich, Germany
Tagungsband: Mikrosystemtechnik Kongress 2005
Seiten: 5Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Jeyaprakash, J. D.; Samuel, S.; Freidank, D.; Neumann, T.; Klapproth, H.; Dahme, G.; Moschallski, M.; Mädge, D.; Toomey, R.; Park, I. J.; Chang, B. J.; Berchthold, B.; Mock, U.; Prucker, O.; Rühe, J. (IMTEK - Institut für Mikrosystemtechnik, Universität Freiburg, Georges-Köhler-Allee 103, 79110 Freiburg, Deutschland)
Inhalt:
Durch die Bindung von Polymermolekülen an die Oberflächen von mikro- und nanotechnischen Strukturen lassen sich Mikrosysteme mit maßgeschneiderten Oberflächeneigenschaften herstellen. Neue Methoden mit denen solche ultradünnen Polymerschichten auf den Oberflächen der Mikrosystemkomponenten abgeschieden werden können, sind das Aufwachsen von Polymeren über oberflächeninitiierte Polymersationsreaktionen, die photochemische Immobilisierung von Polymermonolagen und ultradünnen Netzwerken sowie die Bindung von Polymeren über oberflächengebundene Monomere. Mit Hilfe der so erhaltenen oberflächengebundenen Schichten kann die Wechselwirkung der Mikrosysteme mit ihrer Umgebung kontrolliert werden. Als Beispiele für praktische Anwendungen bei denen oberflächengebundene monomolekulare Schichten eine Funktionsfähigkeit des Mikrosystems verbessern oder überhaupt erst ermöglichen, werden oberflächenmodifizierte Mikrodosierchips, FET-Gassensoren und kunststoffbasierte DNA-/Proteinchips diskutiert.