Innenbehandlung und -beschichtung von gedeckelten mikrofluidischen Systemen
Konferenz: Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005
10.10.2005 - 12.10.2005 in Munich, Germany
Tagungsband: Mikrosystemtechnik Kongress 2005
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Eichler, M.; Hacker, J.; Thomas, M.; Klages, C.-P. (Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST, Bienroder Weg 54 E, 38108 Braunschweig, Deutschland)
Inhalt:
In diesem Beitrag wird ein neues, bei Atmosphärendruck arbeitendes Plasmaverfahren zur Innenbehandlung (Oberflächenmodifizierung oder -beschichtung) von Mikrofluidiksystemen vorgestellt, welches völlig neue Produktionsprozesse erlaubt. Mit diesem Verfahren ist es möglich, auch bereits gedeckelte Systeme nachträglich in den Strukturen zu beschichten oder zu funktionalisieren und damit z. B. zu hydrophilisieren. Die Beschichtungen wurden mit einem FTIR-Mikroskop und Befüllungsexperimenten charakterisiert. Um eine gleichmäßige Schichtverteilung in den Kanälen zu erreichen, wurde die Schichtdickenverteilung in Abhängigkeit von der elektrischen Feldrichtung untersucht. Die Schichtabscheidungsrate wurde als Funktion der Gasflussgeschwindigkeit, der Pulsung und der Elektrodenspannung betrachtet.