Mikromechanische Thermische Sensoren
Konferenz: Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005
10.10.2005 - 12.10.2005 in Munich, Germany
Tagungsband: Mikrosystemtechnik Kongress 2005
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Ashauer, Matthias (Hahn-Schickard-Gesellschaft Institut für Mikro- und Informationstechnik Villingen-Schwenningen, Deutschland)
Inhalt:
Mit thermischen Messprinzipien lassen sich eine Vielzahl von Sensoren realisieren. Es wird ein Überblick über die grundlegenden Wirkprinzipien und Zusammenhänge gegeben. Viele dieser Sensoren lassen sich vorteilhaft mit den Herstellungstechnologien der Mikrosystemtechnik realisieren. Es wird eine Übersicht gegeben über am Markt eingeführte und in Entwicklung befindliche mikromechanische thermische Sensoren.