Eine neue Generation thermoelektrischer Strömungssensoren optimiert für den Einsatz in Flüssigkeiten

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Eine neue Generation thermoelektrischer Strömungssensoren wird vorgestellt, deren Herstellungsprozess für den Einsatz im direkten Kontakt mit Flüssigkeiten optimiert ist. Der direkte Kontakt mit Flüssigkeiten oder aggressiven Medien erfordert Schutzmaßnahmen um eine Zerstörung des Bauteils durch elektrische Kurzschlüsse oder Korrosion zu vermeiden. Das Technologiekonzept des IMSAS basiert auf dem Einsatz hochtemperaturstabiler Materialien zur Herstellung der elektrischen Funktionsstrukturen, die eine hochdichte Passivierung aus LPCVDSiliziumnitrid (SiN) zulassen. Weiterhin erfolgt die Freilegung der Membranstruktur nicht nasschemisch, sondern mittels eines DRIE-Prozesses, mit dem Vorteil des geringeren Platzbedarfes sowie einer erhöhten Prozesssicherheit. Die Systeme wurden am IMSAS entworfen, hergestellt und charakterisiert. Nach der Vorstellung des Herstellungsprozesses und der Charakterisierungsergebnisse soll kurz auf die weiterführenden Entwicklungen des IMSAS auf dem Gebiet der thermischen Strömungssensorik eingegangen werden.