Batchfertigung von SU8-Mikrogreifern mit Formgedächtnisantrieb
Konferenz: Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005
10.10.2005 - 12.10.2005 in Munich, Germany
Tagungsband: Mikrosystemtechnik Kongress 2005
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Hoxhold, B.; Büttgenbach, S. (Technische Universität Braunschweig, Institut für Mikrotechnik, Deutschland)
Inhalt:
In diesem Beitrag wird ein Verfahren zur Herstellung von SU8-Mikrogreifern mit Formgedächtnisantrieb in Batchtechnologie vorgestellt. Es wird dargestellt, wie die Aktoren aus Formgedächtnislegierungen (FGL) nasschemisch im Batch aus einer Folie herausgeätzt und anschließend in das Greifergrundmaterial SU8 eingebettet werden. Des Weiteren wird eine Methode erläutert, die das nachträgliche Aktivieren der FGL-Aktoren im eingebauten Zustand ermöglicht.