Referenzmarken bei der Montage aktiver Mikrosysteme
Konferenz: Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005
10.10.2005 - 12.10.2005 in Munich, Germany
Tagungsband: Mikrosystemtechnik Kongress 2005
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Berndt, M.; Tutsch, R. (Institut für Produktionsmesstechnik, TU Braunschweig, Deutschland)
Schöttler, K.; Hesselbach, J. (Institut für Werkzeugmaschinen, TU Braunschweig, Deutschland)
Feldmann, M.; Büttgenbach, S. (Institut für Mikrotechnik, TU Braunschweig, Deutschland)
Inhalt:
Hybride Mikrosysteme sind Gegenstand neuerer Entwicklungen in der Produktionstechnik. Besonders bei beweglichen Komponenten kann auf den Prozessschritt der automatisierten Montage kaum verzichtet werden. Die Genauigkeit bei der Positionierung der Fügepartner soll dabei im Bereich weniger, bis zu 1 µm liegen. Ein hoher Spezialisierungs- und Automatisierungsgrad der Montageeinrichtungen widerspricht der gewünschten Flexibilität bei der Produktpalette. Dieser Eingrenzung wird durch fertigungsgerechtes Gestalten begegnet. Mit produktübergreifender Einführung von fluoreszierenden Referenzmarken als Montagehilfen lassen sich Fertigungseinrichtungen von produktspezifischen Merkmalen robust entkoppeln.