3D-Mikrotaster für Anwendungen in der Wegmesstechnik
Konferenz: Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005
10.10.2005 - 12.10.2005 in Munich, Germany
Tagungsband: Mikrosystemtechnik Kongress 2005
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Phataralaoha, A.; Triltsch, U.; Büttgenbach, S. (Institut für Mikrotechnik (IMT), Technische Universität Braunschweig, Braunschweig, Deutschland)
Seitz, K.; Roth, R. (Carl Zeiss, Oberkochen, Deutschland)
Inhalt:
In diesem Beitrag wird ein miniaturisierter mechanischer 3D-Tastsensor aus Silizium vorgestellt, der an Koordinatenmessgeräten (KMG) im scannenden Betrieb zum Einsatz kommen soll. Das Sensorelement besteht aus einer mit mikrotechnischen Herstellungsverfahren gefertigten Silizium-Bossmembran und Piezowiderständen. Die Charakterisierungen des neuen Tasterdesigns zeigen ein deutlich geringes Steifigkeitsverhältnis und eine Reduzierung der Antastkraft um 50% im Vergleich zu dem vorherigen Design.