Keramische Komponenten für die Mikroverfahrenstechnik
Konferenz: Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005
10.10.2005 - 12.10.2005 in Munich, Germany
Tagungsband: Mikrosystemtechnik Kongress 2005
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Knitter, Regina; Alm, Birgit; Haußelt, Jürgen (Forschungszentrum Karlsruhe GmbH, Institut für Materialforschung III, 76021 Karlsruhe, Deutschland)
Inhalt:
Während erste metallische Mikrostrukturkomponenten bereits Einzug in die chemische Produktion gehalten haben, ist der Einsatz keramischer Komponenten bisher noch auf F+E-Arbeiten beschränkt. Dies liegt zum einen daran, dass die Mikrostrukturierungsverfahren für Keramik später und unabhängig von der Halbleiterindustrie entwickelt wurden, und zum anderen daran, dass bis heute bei vielen keramischen Komponenten durch die verwendete Aufbau- und Verbindungstechnik das Potenzial der Komponenten nicht voll ausgeschöpft werden kann.