Untersuchung des Stabilitätsverhaltens von elektromagnetischen Aktoren
Konferenz: Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005
10.10.2005 - 12.10.2005 in Munich, Germany
Tagungsband: Mikrosystemtechnik Kongress 2005
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Schonhardt, S.; Wallrabe, U.; Korvink, J. G. (Institut für Mikrosystemtechnik IMTEK, Universität Freiburg, Georges-Köhler-Allee 102, 79110 Freiburg, Deutschland)
Solf, C. (Sandia National Laboratories, California, PO Box 969, Livermore, CA)
Inhalt:
Elektromagnetische Aktoren zeigen ein designabhängiges nichtlineares Schaltverhalten, wie es auch von elektrostatischen Aktoren bekannt ist. In diesem Beitrag wird das Schalten mit analytischen und simulationstechnischen Methoden untersucht und mit experimentellen Daten verglichen. Es werden Wege aufgezeigt, die Systemstabilität für unterschiedliche Geometrien gezielt zu beeinflussen, um elektromagnetischen Aktoren eine geeignete Strom-Weg-Kennlinie aufzuprägen.