Tribologische lineare Mikroführungen
Konferenz: Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005
10.10.2005 - 12.10.2005 in Munich, Germany
Tagungsband: Mikrosystemtechnik Kongress 2005
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Phataralaoha, A.; Büttgenbach, S. (Institut für Mikrotechnik (IMT), Technische Universität Braunschweig, Alte Salzdahlumer Str. 203, 38124 Braunschweig, Deutschland)
Schiffmann, K.; Sick, J.-H.; Bandorf, R.; Küster, R. (Fraunhofer Institut für Schicht- und Oberflächentechnik, 38108 Braunschweig, Deutschland)
Inhalt:
Ein großes Lösungspotenzial für die Optimierung der Reibung im Bereich der Mikroaktorik liegt in der modernen Dünnschichttechnologie. Es wurden hierzu wasserstofffreie amorphe Kohlenstoffschichten (a-C), die auf Grund ihrer niedrigen Herstellungstemperaturen und guten Reibungseigenschaften besondere Bedeutung für mikrotechnische Anwendungen besitzen, auf strukturierten Proben abgeschieden und tribologisch charakterisiert. Durch die Mikrostrukturierung der Proben konnte eine Senkung des Reibungskoeffizienten um 20 % erreicht werden. Die Ergebnisse wurden eingesetzt, um die Reibung bei linearen Mikroführungen zu reduzieren.