Prozessmanagement – der Schlüssel zur Entwurfsautomatisierung in der Mikrosystemtechnik

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In der Mikrosystemtechnik werden heute häufig Entwurfsframeworks eingesetzt, die entweder für mikroelektronische Schaltungen gedacht sind, oder die als Weiterentwicklungen von Mikroelektronikwerkzeugen erstellt wurden. Sie werden den Anforderungen der Mikrosystemtechnik vor allem deshalb nicht vollständig gerecht, weil sie eher auf eine Verarbeitung einer sehr großen Anzahl von Bauelementen weniger Typen hin optimiert sind (Management of Complexity), als auf die produktspezifische Gestaltung des Fertigungsprozesses, der aufgrund der inhärenten 3d-Struktur von MEMS-Produkten in der Mikrosystemtechnik erforderlich ist (Management of Technology). Dieser Artikel führt zunächst in die Methodik des Management of Technology ein und zeigt dann anhand des Prozessmanagement-Frameworks PROMENADE, wie diese Methodik zur Produktivitätssteigerung beim Mikrosystementwurf eingesetzt werden kann.