Aufbau- und Verbindungstechnik für ein mikrooptisches System
Konferenz: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
15.10.2007 - 17.10.2007 in Dresden
Tagungsband: MikroSystemTechnik
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Kögler, Daniela (IAF Mechatronik, Hochschule Esslingen, Robert-Bosch-Str. 1, 73037 Göppingen, Deutschland)
Huster, Rolf; Kronast, Wolfgang; Mescheder, Ulrich (IAF, Hochschule Furtwangen, Robert-Gerwig-Platz 1, 78120 Furtwangen, Deutschland)
Inhalt:
In diesem Paper wird die Aufbau- und Verbindungstechnik für ein aktives mikrooptisches System für Fokussieraufgaben vorgestellt. Das System besteht aus einer mikromechanisch hergestellten reflektierenden Silizium-Membran und einer Gegenelektrode, die auf Waferebene miteinander verbunden werden. Durch Anlegen einer Spannung zwischen der Membran, welche eine verformbare Elektrode repräsentiert, und der fixierten Gegenelektrode, wird die Membran ausgelenkt. Für den Aufbau der Gegenelektrode auf einem Träger und die Verbindung des Trägers mit Membran werden mehrere Konzepte präsentiert. Wichtige Anforderungen sind dabei unter anderem ein exakt eingestellter Abstand zwischen den Elektroden und eine thermomechanische Entkopplung der Membran.