Systemkonzept eines chipbasierten, paramagnetischen Sauerstoffsensors

Inhalt:
Paramagnetische Sauerstoffsensoren werden seit einigen Jahrzehnten in der industriellen Sauerstoff-Konzentrationsmessung von Gasen eingesetzt. Die Übertragung dieses physikalischen und damit im Vergleich zu chemischen Verfahren langzeitstabilen Messprinzips ist mit dem in [3, 4] vorgestellten mikromechanischen Sensorchip-Prototyp gelungen. Ziel ist es, ein Sensormodul zu entwickeln, dass unter industriellen Randbedingungen eingesetzt werden kann. Der Aufbau und die Funktionsweise dieses Sensormoduls, das im Wesentlichen aus planaren, aufeinander stapelbaren Komponenten besteht, wird hier vorgestellt. Hierbei wird insbesondere auf die im Vergleich zu Standardsensoren ungewöhnlichen Anforderungen an das Sensorgehäuse eingegangen.