Elektrothermische Aktoren aus SU-8 für den Einsatz in miniaturisierten Schrittantrieb

Inhalt:
Der vorliegende Beitrag beschreibt die Modellierung, Simulation und mikrotechnische Fertigung elektrothermischer Aktoren aus SU-8. Im Vergleich zu piezoelektrischen, elektrostatischen oder elektromagnetischen Mikroaktoren ist es damit möglich, sowohl große Stellkräfte als auch Auslenkungen bis 100 µm zu erreichen, aufgrund des hohen thermischen Ausdehnungskoeffizienten und geringen E-Moduls von SU-8 schon bei Temperaturen kleiner 200Grad C. Eine geringe Wärmeleitfähigkeit führt zu vergleichsweise effizienten thermischen Aktoren. Darüber hinaus ermöglichen sie die Fertigung potentiell kostengünstiger Mikroantriebe im Batchprozess. Es wird ein Ausblick zur Verbesserung der Dynamik gegeben.